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リソグラフィー【lithography】 一般用語集 り
項目
リソグラフィー【lithography】
意味
(1)石版印刷。リトグラフ。(2)半導体製造の際,微細な回路パターンを基板表面に光を照射し転写する技術の総称。
一般用語集 五十音順
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